Шуаібов Олександр Камілович; Білак Юрій Юрійович; Русин Михайло Іванович. ГАЗОРОЗРЯДНА УЛЬТРАФІОЛЕТОВА ЛАМПА НА ГАЗОПАРОВІЙ СУМІШІ «ГЕЛІЙ-ЦИНК» ДЛЯ ЗАСТОСУВАНЬ В МІКРО-НАНОТЕХНОЛОГІЯХ. ERM 2023.