ГАЗОРОЗРЯДНА УЛЬТРАФІОЛЕТОВА ЛАМПА НА ГАЗОПАРОВІЙ СУМІШІ «ГЕЛІЙ-ЦИНК» ДЛЯ ЗАСТОСУВАНЬ В МІКРО-НАНОТЕХНОЛОГІЯХ
Abstract
Досліджено характеристики ультрафіолетової точкової лампи з накачуванням перенапруженим наносекундним розрядом (ПНР) між електродами з цинку в гелії при тиску – 13.3 кПа і величині розрядного проміжку d = 2 мм.
Досліджено просторові і спектральні характеристики випромінювання лампи, встановлено основні збуджені продукти, які утворюються в плазмі і випромінюють в спектральному діапазоні 200-350 нм. Для числового моделювання параметрів плазми проведено критичний відбір ефективних перерізів збудження, іонізації і пружного розсіяння електронів на атомах цинку і підготовлено з них цифрову базу даних, яка може бути використана в програмах розрахунків параметрів плазми типу BOLSIG+.
Published
How to Cite
Issue
Section
License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-ShareAlike 4.0 International License.